一、分子式:C2H2Cl2
二、分子量:96.94
三、理化性质
无色略带刺激气味液体，熔点－57℃，沸点48℃，密度1.256g/mL。易燃，其蒸气与空气可形成爆炸性混合物。与氧化剂能发生强烈反应。与酸碱需隔离存放。
四、用途
高纯度氯源，主要用于晶圆制造过程中加快硅片氧化和清洗炉管。是半导体、太阳能、分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的电子化学品。当CVD使用温度低于800℃时，反式-1，2-二氯乙烯是目前已知的最佳氯源。DCE在高温与氧气反应分解生产HCl、CO2等。产生的HCl与金属原子反应后被气体带走，达到清洗管道的目的。
五、质量指标
分析项目技术指标
7.5N
纯度，min
99.999995%
Si，max
0.3 ppb
B，max
0.3 ppb
P，max
0.3 ppb
酸度，max
0.38 ppm
水分，max
12.85 ppm
主含量，min
99.97%
颗粒数≥0.1μm，max
0.97 p/ml
颗粒数≥0.2μm，max
0.3 p/ml
颗粒数≥0.5μm，max
0.3 p/ml
色度，max
10APHA
六、包装
容器：镀膜高纯石英源瓶
外包装：容器外套厚质PVC胶袋，PE专用箱内置缓冲海绵、PVC内筒承装源瓶，外套铁桶
规格：500ml、1000ml、1500ml、19L